高登驱车来到启明科技时,已经是上午十点。
李卫东早已在大门口等候,一看到高登的五菱荣光驶入园区,立刻迎了上来。
“高总,您可算来了!”
李卫东显然对高登带来的光刻机镜头充满了期待,他笑着道:
“黄总今天也特意过来了,他对您带来的这个镜头非常感兴趣。”
高登点点头,从副驾驶座上拿起那个黑色手提箱。
两人一路穿过启明科技宽敞的大厅,来到了位于三楼的贵宾会议室。推门而入,高登便看到一位须发花白、但精神矍铄的老者正端坐在会议桌旁。
正是启明科技的创始人兼董事长,黄忠海!
见到高登进门,黄忠海立刻站起身,伸出手与高登相握:
“真没想到啊高总,听卫东跟我说,你这么快就从国外弄回来一组特殊的光刻机镜头?”
“黄总客气了。”
高登将手提箱放在会议桌上,道:
“我也不确定这组镜头是否真的符合贵公司的要求,还需要专业检测才能知道。”
“那就让我们先看看吧。”
黄忠海语气平和地说道,相比一脸兴奋的李卫东,他的表情要淡定得多。
高登打开手提箱,露出了那套由多块玻璃镜片组成的光之塔镜头组复制品。
整个镜头组被固定在一个特制的支架上,由七片大小不一的透镜按照特定角度组合而成。每一枚镜片都晶莹剔透,在会议室灯光的照射下隐隐散发着柔和的光泽。
更奇特的是,这些镜片的边缘似乎还残留着某种难以名状的微光,如同古老符文般在表面若隐若现。整个装置看起来不像是现代工业品,反倒更像一件精美的艺术品。
黄忠海盯着这组镜头看了片刻,眉头微微皱起。
他小心翼翼地将镜头从箱子中取出,放在手中仔细端详。镜片的手感冰凉光滑,表面没有任何可见的瑕疵或加工痕迹。
“高总,恕我直言。”
黄忠海缓缓开口,语气中带着几分质疑:
“这组镜头的外观确实很特别,但是如此精密的顶级光学仪器,怎么可能就这样随意放在普通手提箱里运输?要知道光刻机镜头对震动和温度都极其敏感,稍有不慎就会影响精度。”
高登笑了笑:“黄总说的有道理。不过这组镜头的材质比较特殊,抗震性能远超普通光学玻璃。而且我这次从国外带回来的不止一组。”
“不止这一组?”黄忠海的表情变得更加怀疑,“高总,您知道一组符合40纳米光刻机要求的物镜组价值多少吗?国际上能够生产这种镜头的厂家屈指可数,每一组都价值连城。您说手上还有更多的,这实在有些……”
他没有把话说完,但意思已经很明显了。在黄忠海看来,高登很可能是从某个不知名的海外实验室弄来了一个徒有其表的镜头,甚至可能只是个样子货。
一旁的李卫东见气氛有些尴尬,连忙打圆场:
“黄总,高总之前给我们提供的内存颗粒和晶圆,品质都是顶级的。我觉得无论如何都应该用专业仪器检测一下,不能仅凭外观就下结论。”
黄忠海沉默片刻,最终点了点头:
“卫东说的对。既然高总专程送来,我们还是应该认真检测一遍才行。”
他顿了顿,又补充道:
“不过初步检测至少需要三到四个小时。高总既然来了,不如让我带你参观一下我们启明科技的实验室如何?”
高登自然听出了对方话里的潜台词。这位老前辈显然是想借参观的机会,向他展示启明科技作为的深厚底蕴,顺便敲打一下他这个年轻人,别太过自信。
“那就麻烦黄总了。”高登淡然应道。
黄忠海将镜头交给李卫东,吩咐他立即送去光学实验室进行全面检测。随后便亲自领着高登前往启明科技的核心研发区域。
他们首先来到的是一间巨大的无尘车间。
透过观察窗,可以看到里面摆放着数十台精密设备,几名穿着防尘服的工程师正在操作仪器。
“这是我们最新一代的等离子刻蚀机。”
黄忠海指着其中一台庞大的设备说道,语气中带着几分自豪:
“能够实现65纳米级别的精密刻蚀,良品率达到87%。在国内半导体设备领域,这已经是最先进的水平了。”
高登礼貌地点点头:“嗯,不错。”
黄忠海又带他来到另一间实验室:
“这里是我们的超净尘埃粒子检测室,空气洁净度达到ISo 3级标准,每立方米空气中直径大于0.1微米的粒子数不超过35个。”
“确实有独到之处!”
高登依然只是淡淡地应了一句。
接下来黄忠海如数家珍地介绍了化学气相沉积设备、光学检测平台、离子注入机等等一系列价值不菲的精密仪器。
然而让黄忠海越来越感到不对劲的是,高登始终表现得心不在焉。
他既没有表现出普通人应有的震撼,也没有表现出同行应有的好奇。只是偶尔礼貌地点评一句,大部分时间眼神都显得有些飘忽。
这让黄忠海心中涌起一股不快。
要知道这些可都是启明科技的核心机密,轻易不会向外人展示。自己作为公司创始人,亲自屈尊为他讲解,他却摆出这副漫不经心的样子。
难道这个年轻人真的不知道这些设备的价值?还是说他根本就不懂半导体?
就在黄忠海准备结束这场无聊的参观时,他突然停下脚步,转身看着高登。
“高总,既然你对芯片设计有这么深的理解。”
黄忠海语气变得严肃起来,
“我倒想考考你一个技术问题。”
高登微微一愣,但脸上随即露出一个略显古怪的笑容:“黄总请讲。”
“我们在进行65纳米工艺的铜互连研发时,一直面临一个电迁移的瓶颈问题。”
黄忠海缓缓说道,
“当电流密度过高时,铜原子会被电子撞离原来的位置,导致电路出现空洞和短路,严重影响芯片的寿命和可靠性。你对此有什么好的解决方案吗?”
这个问题一出,一旁的李卫东脸色微微一变。
他知道这正是启明科技目前最头疼的技术难题之一,公司已经为此投入了上亿元的研发经费,却始终没有找到理想的解决方案。
黄总这分明是要给高登一个下马威。
然而出乎所有人意料的是,高登听完问题后脸上的笑容变得更加明显了。
因为太巧了。
他前世在启明科技担任中层工程师时,负责的第一个重大项目,正是65纳米铜互连工艺的抗电迁移技术攻关!
这个问题足足耗费了高登一年的心血,因此他比在场的任何一个人都更熟悉!
高登稍作思考之后,然后依旧轻描淡写地说道:
“电迁移问题主要是因为电子风应力导致的。单纯加厚铜层或者增加阻挡层,都只是治标不治本。”
黄忠海眼神一凛,示意他继续说下去。
“我个人建议可以尝试在铜中掺杂微量的铝或钴合金,形成晶界钉扎效应。”
高登侃侃而谈,“这能大幅提升铜晶格抵抗电子风的能力。另外在铜层的顶部,可以尝试用自对准的方式,选择性地沉积一层钴或钌的覆盖层。”
“这层覆盖层能像一个盖子,牢牢压住铜原子,让它们无法移动。”
高登顿了顿,“双管齐下,应该能将芯片的抗电迁移寿命提升一个数量级以上。”
话音落下,整个走廊陷入了死一般的寂静。
黄忠海和李卫东面面相觑,都从对方眼中看到了难以掩饰的震惊。
因为高登提出的这个合金钉扎和覆盖层的思路,正是他们内部一个预研小组最近才刚刚摸索到一点门道的前沿方向!而且还处于理论验证阶段,根本没有公开发表过任何论文!
高登竟然就这么轻描淡写地,将完整的技术路线都说了出来!
“你,你怎么知道”
黄忠海的声音都有些颤抖。
就在这时,一名年轻的研究人员突然抱着一份文档,急匆匆地从走廊另一头跑了过来。
他甚至都忘了敲门,直接冲到黄忠海面前,上气不接下气地喊道:
“黄总!李经理!那组镜头!我们已经完成初步的光学检测!”
他将手中的检测报告递过去,声音因为极度的兴奋而颤抖:
“它的光学透过率、均匀性和热稳定性全都,全都好得不像话!根据模拟数据,它的纯度理论上完全可以满足40纳米,甚至更高精度光刻机的要求!”
黄忠海呆呆地接过那份报告。
报告上密密麻麻地列着各种数据:透过率99.7%、波前畸变小于λ\/50、热膨胀系数接近零、应力双折射几乎检测不到
每一个数字都完美得如同天方夜谭。
他抬起头,看向面前那个依旧一脸平静、仿佛只是做了一件微不足道小事的年轻人。
在这一刻,这位纵横商界和科技界数十年的泰山北斗,心中第一次生出了一种被后浪狠狠拍在沙滩上的荒谬感觉。